哪儿有多晶硅生产工艺的技术资料卖了？？？

改良西门子法
多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上，同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。
改良西门子法相对于传统西门子法的优点主要在于：
1）节能：
由于改良西门子法采用多对棒、大直径还原炉，可有效降低还原炉消耗的电能；
2）降低物耗：改良西门子法对还原尾气进行了有效的回收。
所谓还原尾气：是指从还原炉中排放出来的，经反应后的混合气体。
改良西门子法将尾气中的各种组分全部进行回收利用，这样就可以大大低降低原料的消耗。
3）减少污染：由于改良西门子法是一个闭路循环系统，多晶硅生产中的各种物
料得到充分的利用，排出的废料极少，相对传统西门子法而言，污染得到了
控制，保护了环境。

多晶硅的主要生产方法比较

方
法 原料制备
方法 多晶硅制备

原
料
制备方法
精
制 温
度
℃ 析出位置 析出状态
三氯氢硅氢还原发

SiHCI3

Si＋3HCI
SiHCI3＋H2

精
馏
氢还原 SiHCI3＋H2＝Si＋3HCI

1100
硅棒 多晶硅棒
硅
烷
法
SiH4 Mg2Si＋NH4HCL
Mg2Si＋4NH3＋2Mg2CI2 吸附或低温精馏 热分解 SiH4＝Si＋2H2
888－900 硅
棒 多晶硅棒