什么是高纯多晶硅的基磷和基硼,请多晶硅行业达人帮忙解释下

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/06/05 12:49:29
什么是高纯多晶硅的基磷和基硼
用什么表示,单位是什么
这个数值的大小对多晶硅材料有什么影响
如何控制它们的量

经过化学提纯的高纯多晶硅的基硼浓度应小于0.05ppba，基磷浓度小于0.15ppba，碳浓度小于0.1ppm a，金属杂质的浓度小于1.0ppba。也就是高纯多晶硅中这些杂质的含量要降到十亿分之几（ppba）。目前，在工业中应用的技术有：三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法和四氯化硅氢还原法，最主要的是前两种技术