请教大侠等离子渗氮，气体渗氮，碳氮共渗比较，变形量，开裂倾向，硬化层深度，哪种方法大哪种方法小？

这个问题很有意义，好回答，也不好回答。
简单地讲：热处理变形和开裂是由热应力和组织应力造成的。对于热应力而言，加热温度高、时间长则应力就大，对组织应力而言，金相组织变化后的体积差愈大，组织应力就愈大。
所以等离子氮化由于其温度低、渗氮周期短（温度为500-520℃，时间为12至15小时）组织由ε相、γ相组成，基本不含有脆性ξ相，从而使热应力和组织应力大为降低，变形量小，不易开裂，可作为最终工序。
气体渗氮温度一般为500~560℃,时间一般为30至50小时,采用氨气(NH3) 作渗氮介质，可以看出温度虽然不高，但时间很长，其热应力就大。组织由ε相、γ相组成，处理不好时有脆性ξ相。
气体软氮化（碳氮共渗）温度常用560-570℃，因该温度下氮化层硬度值最高。氮化时间常为2-3小时，因为超过2.5小时，随时间延长，氮化层深度增加很慢。 可以看出碳氮共渗的温度最高，其组织由ε相、γ相和含氮的渗碳体Fe3（C，N）所组成，所以热应力和组织应力都较前两者大，再者渗层薄，所以不能承受重载。但这种处理也有优点，由于软氮化层不存在脆性ξ相，故氮化层硬而具有一定的韧性，不容易剥落。
三者比较而言以等离子效果最佳，气体渗氮次之，碳氮共渗最差。

对补充问题的回答：
请问你使用的是哪种牌号的钢？请把钢号告之。
40CrNiMoA常用的离子渗层深是：0.2mm-0.5mm，如超出这个范围可以进行双段离子渗，第一段离子渗氮的温度可以控制在540℃，第二段控制在520℃，与气体渗氮相比其温度相差不大，但时间缩短，所以热应力还是小，质量也更为可靠，因为气体渗氮时间过长会增加工艺的不确定性。
但我认为如果在0.5mm以内时，一次离子渗就可以达到，可以根据零件实际需要对渗层深度进行修正，这样即可以节约成本又可以满足使用需要。