请问单、多晶硅从硅矿到铸成硅锭或硅棒时需要用空气过滤器净化工厂空气吗?

来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/06/18 07:13:03

做单晶硅时要。其他步骤好像不要。像个化工厂,很多都是采用通透式厂房的。

貌似用坩埚生产硅锭的时候,都是直接抽真空的……

中硅的还原车间是采用3级送风的超净厂房,其他的没有听说。