多晶硅的生产工艺流程及有关设备有哪些？

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/15 06:17:50
要工作了，单位是生产多晶硅的，在呼和浩特市金桥开发区，可是对这些一点不懂，请网络有缘人帮帮忙，说说你们所知道的。再小的关爱也是帮助。分数不多，呵呵。
好像是改良西门子法，内蒙古神舟硅业，新单位，前期1500吨。现在应该是试生产。我真是不太了解目前的情况。

多晶硅的生产工艺流程及有关设备有：

1、多晶硅生产主要关键设备（在改良西门子法中）：氯化氢合成炉，三氯氢硅沸腾床加压合成炉，三氯氢硅水解凝胶处理系统，三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统，硅芯炉，节电还原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置，还原尾气干法回收装置；其他包括分析、检测仪器，控制仪表，热能转换站，压缩空气站，循环水站，变配电站，净化厂房等。 

2、西门子改良法生产多晶硅工艺如下： 

（1）石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅，  其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑ 

（2）为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。  

其化学反应Si+HCl→SiHCl3+H2↑  

反应温度为300度，该反应是放热的。同时形成气态混合物(Н2,НС1,Si