真空镀膜时如何控制膜层的厚度

时间-功率控制 根据 厚度=时间×速率,改变功率以保证V接近常数,再通过时间来控制厚度.
石英晶体监控 监测晶振片的振动频率 根据厚度与频率的变化关系,计算当前厚度来控制
光学监控 直接测量膜系的光学特性R/T
目测 肉眼观测反射颜色来控制膜层厚度,误差太大

精度要求高的话使用石英晶体测厚仪，可以直接测出膜层厚度，也可以跟电源设置自动膜厚控制，达到所需的厚度时自动停止。

一般是调节相关工艺以控制膜层沉积速率，然后通过控制时间来控制膜层的厚度。