真空镀膜时为何要衬底加热

均匀性致密性都好，和表面能有关，为了已经淀积的物质要再分布

这个要从薄膜生长理论来说了。我们那一章没学。《薄膜材料与薄膜技术》。
引：衬底温度对ZnO薄膜生长过程影响显著 随衬底温度的升高 薄膜生长速率存在一极限值 且ZnO薄膜的c轴取向趋势增强 晶粒尺寸得到细化。

能量传递需要介质，衬底就是作为介质。