自动涂布机的操作方法

使用操作方法：
(1) 首先将PUMP的电源插头插入涂布机后面的电源插座。

(2) 将涂布机插头插入110V的电源插座，然后按下[POWER]键。

(3) 设定旋转的转速及时间，本机型为二段式加速的Spin Coating，右边为第一

段加速，左边为第二加速。

(4) 依不同尺寸的基材，可更换不同的旋转转盘做徒步的动作。

(5) 按下[PUMP]键，此时旋转转盘会吸住基材，然后将光阻依螺旋状从基材中

心均匀且慢慢的往外涂开至适当的量，在做光阻涂开动作时可先用氮气将

旋转转盘周围及基材吹乾净。

(6) 盖上涂布机的保护盖，以防止光阻溅出涂布机外。

(7) 按下[START]键，涂布机便开始做涂布的动作。

(8) 涂布完毕后，打开保护，按下[PUMP]键旋转转盘会放开基材，便可以将基

材取出。