真空镀膜偏压选取

来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/06/14 10:28:40
看资料《实用镀膜技术》
其中提到的工艺中,清洗偏压选择低占空比,而镀膜时选择低偏压高占空比。
但是在我所在的单位中,恰恰相反,清洗选择高偏压高占空比,成膜选择低偏压低占空比。
有同行的来说说你们厂使用的是哪一种配比。
一起来讨论一下两种配比的优劣。
(偏压的高低是指绝对值的高低)
这样吧,具体点的实例。
不锈钢电镀氮化钛,电源使用实力源的单极脉冲偏压电源。
清洗时偏压当然应该是作用时间长一点的好,所以选择了高占空比。至于清洗的强度一般用偏压大小来控制。
那么在这种情况下,如果我选择低占空比的话,相当于每周期作用时间减短,那么根据清洗强度来说,我应该延长清洗的时间或增大偏压咯。
另外,成膜时的占空比应该与膜层的结合力有一定关系吧,我们厂从来没有做过面层偏压高占空比的,这应该是原来的一些前辈的经验。那么你们有没有做过高占空比这样的膜层,这样做的测试情况怎样呢?
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应该这样理解,偏压高低决定的是轰击离子的能量大小,而占空比大小则决定轰击离子的数量,两者搭配使用并没有一个固定的公式,如果非要定性两者关系的话,我觉得用“两者相乘等于轰击效果”来形容会比较恰当些。换句话说,只要在膜层结合力要求的范围内,很多种参数包括高偏压低占空比或者低偏压高占空比,都是可以的。
我在五金手机壳镀膜时,试过多种参数,在膜层不厚的时候,都看不出差异来,试过用30的占空比有出现过掉膜,最后是选了个比较折中位置的参数,大概是100伏偏压,60的占空比。

占空比是指电压的高电平和低电平输出占有比例,无论你调高还是调低其电压的峰值是不改变的,只是相对占有周期比例变长而已,
关于镀膜的占空比调节,这要看镀什么膜层,达到什么清洗效果!还要看偏压电源是什么属性的?
你这样很难具体讨论!