真空镀膜时,用钛靶镀不上膜层,用不锈钢就可以,工艺相同.

来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/05/24 14:21:53
电压240V左右,电流38.5A 时间8分钟,高纯气体,镀不锈钢靶没有问题,但是镀钛就不行,一点都镀不上.请高手指点.
基材PS透明料,直流磁控溅射,想做氮化钛膜层。

钛的溅射产额0.22(200ev)
不锈钢的溅射产额近似为铁的,0.53(200ev)
厚度相差一倍多,膜层太薄所以看不出来。

镀纯钛是灰白色的,在有些素材不太明显的,另外上钛的速度是慢些的,时间加长点就好了。

主要炼靶时间不够,起不了弧,时间长点就行了

电压450,电流24,搞半小时左右