UC知道经济合理地设计一个超高真空（10－6Pa）带加热的真空系统
来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/30 20:47:58
经济合理地设计一个超高真空（10－6Pa）带加热的真空系统（300℃）的真空室、密封、绝缘部件（材料、结构等），并给出操作工艺（真空镀膜：膜层为TiO2）。
如果真空系统要求无油清洁系统，其余条件同上，设计真空系统的真空室、密封、绝缘部件（材料、结构等）及抽气系统，并给出结构简图和抽气系统原理图。
如果真空系统要求无油清洁系统，其余条件同上，设计真空系统的真空室、密封、绝缘部件（材料、结构等）及抽气系统，并给出结构简图和抽气系统原理图。
腔体要看你用来做什么用了要多大吗？要用超高分子干泵它可以抽到10*7PA或用10-10PA。跟据你腔体的大小来配置用几台。用干泵虽然无油但你要保持腔体清洁防止5厘米以上的碎片进到泵中。密封就用O-RINY在涂上真空封合膏。真空计要用离子真空计。绝缘部件：耐高温的铁弗龙或瓷。图表还没有有了再给你吧。